介绍DMS SECS/GEM

概述

SECS/GEM是由国际半导体设备与材料协会制定的连接性标准。该标准用于在设备和工厂的管理和控制系统间建立通讯。

通讯

SECS/GEM SEMI连接性标准定义了主机和设备开始建立通讯的方式，并且还定义了当通讯中断时重新建立通讯的方式。在线识别方法负责验证设备的硬件和软件标识。终端服务功能允许主机操作员和设备操作员在控制台上交换手动输入的文本。

接口设计

优秀的接口设计让用户快速使用，同时无需理解SECS/GEM设计与编程，从而专注数据和设备软件设计。

功能模块清晰的界限让工程师在选择实施而无需为耦合性烦恼。

运作通知

采集事件和警报功能使主机能监控设备的运作情况。设备收集事件功能会将重要的正常活动和异常活动通知主机。当潜在的危险活动出现并随后被清除时，设备警报功能会通知主机。主机设定哪些收集事件和警报需要通知。SECS/GEM连接性标准要求特定的事件必须有通知，但一般会给设备定义额外的事件，以便主机监控具体设备相关的活动。