Interface-A (EDA)是什么？

半导体EDA全称Equipment Data Acquisition，又称Interface-A

主要应用于大数据量场景，目前只在FAB场景用到。一般用于光刻机、检测设备、CVD的等。

Interface-A是SEMI设备数据采集（EDA）标准的一部分，由于半导体SECS/GEM协议侧重于设备控制，在大数据处理这块速率不够，同时SECS协议单个类型数据最大只能16MB，所有提出Interface-A协议，采用HTTP协议。应用于先进制造场景，一般是12寸的FAB的核心设备。

例如金南瓜能做到1秒内钟传输16MB的配方，但是绝大多数EAP只能支持最大1MB配方，在30秒内处理完成就可以，这种性能源自于SECS/GEM底层框架的设计，性能很难优化处理。但是这种场景对于检测设备或者光刻机每秒都产生数十MB的数据，HTTP协议对于这些处理效率就高许多。

EDA支持多个客户端可以访问设备数据，同事也支持订阅模式，让设备主动报告数据，减少性能的消耗。

EDA（interface-A）是一种自我描述的数据接口。客户端可以请求可用的物理配置、状态模型和参数。

EDA的wsdl文件是成熟的标准，用户可以采用各种计算机语言处理，如 C#、C++、C、Java、PHP、pythen或者嵌入式等。

编写自己的EDA客户端的复杂部分是从设备中捕获基于事件的数据。为此，客户端实现一个web服务器或HTTP侦听器，然而这些都有成熟的开源模块。

客户端端点url在建立通信会话期间被传递给设备。定义数据收集计划后，设备将把数据传递到此客户端端点，Interface-A通信使用SOAP/XML协议。