SECS/GEM协议主要应用在半导体行业,协议最早在半导体晶圆厂(FAB)里面使用,
协议主要包含E4、E5、E30和E37等协议,他们分别用途是:
① E4对R232通讯的定义和规范
② E5是设备和Host数据消息交互规范
③ E30是设备和Host交互的流程和数据分类
如定义数据、事件、警报、配方(recipe),交互流程顺序
④ E37是对TCP/IP通讯的定义和规范,如
如握手协议、在线存活检测、通讯超时、通讯终止等
在SECS/GEM的E30标准(GEM)有以下功能等。
① 设备状态
② 设备各种数据上传
③ 关键动作的事件报告
④ 警报故障报告
⑤ 配方管理
⑥ 远程控制设备