SECS/GEM应用及定义

SECS/GEM应用及定义

应用场景

SECS/GEM协议主要应用在半导体行业,协议最早在半导体晶圆厂(FAB)里面使用,

标准定义

协议主要包含E4、E5、E30和E37等协议,他们分别用途是:

① E4对R232通讯的定义和规范

② E5是设备和Host数据消息交互规范

③ E30是设备和Host交互的流程和数据分类

如定义数据、事件、警报、配方(recipe),交互流程顺序

④ E37是对TCP/IP通讯的定义和规范,如

如握手协议、在线存活检测、通讯超时、通讯终止等

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协议功能

GEM功能介绍

在SECS/GEM的E30标准(GEM)有以下功能等。

① 设备状态

② 设备各种数据上传

③ 关键动作的事件报告

④ 警报故障报告

⑤ 配方管理

⑥ 远程控制设备

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