SECS / GEM 工厂主机和生产设备之间的通信

SECS / GEM 工厂主机和生产设备之间的通信

在 GEM标准描述了如何通信和控制能力，应在工厂主机（MES）和生产设备之间的支持。详细方案概述了消息的确切顺序和子集（如标准中所定义），该消息应用于实现特定功能以及必须向主机提供哪些支持工具数据。目的是收集足够的信息，让主机深入了解工具的运行情况，并充分监督控制以远程管理产品处理，以便在工厂车间不需要操作员

启用基本的SECS / GEM通信

SECS / GEM功能始于在工厂主机和工具之间建立SECS通信通道的最基本要求; 下一步是确定谁控制该工具：远程工厂主机或本地操作员。一旦主机具有控制权，它就可以发出工具必须执行的远程命令 – 通常用于启动设备上的处理，但有时用于路由材料或执行预处理或后处理活动。通过运行流程程序（配方）完成物料处理; 虽然GEM要求如何在主机和工具之间管理配方，但配方本身包含您的设备特定处理说明。  

GEM的核心概念是该工具能够为主机提供有用的信息： 

• 状态和数据变量用于报告工具的当前状态，传感器读数和处理结果。
• 只要工具上出现值得注意的事件，就会发布事件。
• 只要工具遇到错误情况，就会引发警报。 

工厂主机可以使用此信息来启动处理请求，监视结果并根据需要调整处理参数，或响应异常情况，所有这些都使用标准SECS消息传递。

GEM的设备要求

基本的GEM合规性要求工具实现标准中描述的所有功能的最小子集。大多数基于SECS和GEM的工厂都期望一种工具至少实现远程控制，数据/事件/报警发布和过程程序管理。一些功能不常被请求，例如假脱机（存储工具消息以便以后传输，主机和工具之间的通信关闭时）或限制监视（对设备报告的过程数据的简单类SPC分析）。无论特定晶圆厂请求您的工具支持，我们的SECS / GEM连接产品都能完全符合标准中描述的每项功能。