SECS/GEM300 基本设计

背景:

半导体是一个高度精密制造的领域,如果工厂要实现量产和高良率,必须要做到自动化生产,减少人员的依赖和人员操作。黑灯工厂是必不可少,特别是晶圆厂都是无操作员,全自动化生产。减少人员可以避免操作失误带来的损失,以及人员带来的不确定性因素。

因此工厂和设备厂商共同提出了一整套的标准协议,制定出半导体标准,其中包含SECS/GEM通讯标准,让所有设备做到高度统一性,工厂能够通过系统进行统一的管理。

如果像其他行业3C、光伏、面板,每个设备都需要定制化去采集和通讯,那么这么的设备或工厂不可能专注于工艺和制造。仅仅工厂和设备交互就需要不少团队去处理。

协议及方案:

在半导体里面有针对于通讯的协议:SECS/GEM、GEM300、EDA

SECS/GEM协议包含E4、E5、E30、E37等

GEM300协议包含:E4、E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90、E94、E116等

GEM300框架 - SECS/GEM300 基本设计

全球专注于提供半导体行业的SECS/GEM解决方案供应商不超过10家,国内只专注于半导体并且以产品至上的公司寥寥可数。

广州金南瓜为中国半导体发展,殚精竭虑为国产半导体设备以及设备改造提供成熟稳定的方案。

金南瓜PLC SECS能够将各种品牌PLC 、Modbus 、Opc、Ethernet\IP等终端进行交互,将终端设备、触摸屏或传感器数据转换成SECS/GEM或写入。

C 软件界面 2 - SECS/GEM300 基本设计

成熟的SDK方案,支持C、C++、C#、Labview、VB、Delphi等,只需要将DLL添加引用,都是以语言的原生态接口,无需学习其他。labview则是添加vi

234 - SECS/GEM300 基本设计

很多设备在设计时候,没有考虑过半导体SECS/GEM协议,那么后期进入半导体厂时候就遇到了无法和工厂通讯,金南瓜方案使得设备无需改造,插入网线或者串口就能实现数据上传。

通讯:

SECS/GEM 协议通过R232或者以太网进行通讯,串口协议或者TCP/IP协议。

SECS-I是R232串口通讯的标准的协议简写。

HSMS是以太网TCP/IP通讯标准的协议简写,广泛定义基于TCP/IP之上的通讯建立和规范,交互所需内容以及具体细节,双方会话超时时间和处理方法。

SECS/GEM是半导体通讯消息,也包含SML语言。

LOG - SECS/GEM300 基本设计

产品亮点:

最值得大家关注的是,金南瓜SECS/GEM产品让用户无需学习和了解SECS/GEM知识。

PLC 场景用户一般是电气工程师或非相关专业人员,对于一些非自身的领域知识不希望要浪费过多时间。

金南瓜产品让用户只需懂得PLC地址和想要提供给工厂的数据即可。

无需知道SML(SECS语言)、SxFy交互消息格式等(SECS),更加没有用到 json(互联网 IT 的东西),即使工程师是软件工程师也无需关注。

团队:

金南瓜是国内最早做SECS/GEM产品,团队成员2009年就涉及半导体设备,最开始是在北方华创仿照 应材 的CVD,同时需要开发SECS/GEM及GEM300协议。

其他成员也是一直做半导体设备,有做disco和ASM的国产化替代品,做出国内最早的开槽、刀轮切割等设备。

金南瓜团队2009年就开始涉及到SECS/GEM,因为只要是半导体设备就离不开SECS/GEM。如果是前道设备,那么没有GEM300就别想进晶圆厂。

金南瓜SECS设备 2022.11.16 1 - SECS/GEM300 基本设计