secs/gem GEM300
GEM300应用于半导8/体12寸的芯片产线。
— 装有晶圆的300毫米 carrier 太重，操作员重复的手动装卸装有晶圆的300毫米carrier 会因疲劳而导致跌损。相反，carrier可以直接自动交付给自动化设备AMHS(OHT、AGV)。
自动化将需要GEM300通信标准。遵循GEM300标准对于全自动300毫米生产线至关重要，其中单个25片晶圆FOUP价值数百万欧元，并且比200毫米线更具破损和误加工风险。
— 广州金南瓜科技是市场上首款符合GEM300标准的SDK。GEM300是SEMI标准的全能名称，可满足300 mm自动化要求。这些包括处理和计量工具的自动过程控制的软件和硬件要求，包括与AGV，PGV和RGV（自动，个人和轨道引导车辆）和OHT（架空起重运输）的接口。GEM300为工厂主机提供一致的界面，而符合SEMI 标准的人机交互使GEM300功能可供用户使用。广州金南瓜科技的GEM300实施和操作细节将不断根据行业标准测试包进行检查。