SECS/GEM是由半导体组织维护的标准,半导体标准由许多半导体或泛半导体公司共同推进和规范。SECS/GEM是半导体标准的其中一部分,这部分协议用于提供设备与工厂的控制系统之间的通讯。
SECS全称SEMI EQUIPMENT COMMUNICATIONS STANDARD(半导体设备通讯标准),GEM全称GENERIC MODEL FOR COMMUNICATIONS(通讯通用模型)
SECS/GEM提供许多的数据、状态、事件、警报灯信息给工厂,工厂可以全方位监视和空时设备,实现生产的全自动化。
SECS/GEM分为设备(Equipment)和主机(Host)。
设备包含制程生产设备、厂务设备、终端等。
主机(Host)一般为工厂端的EAP、MES、CIM等系统
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SECS/GEM一般分为以下几大块功能。
1. 数据采集(VARIABLE)
设备提供各种关键的数据给工厂,例如当前的运行状态、累计产量、完成的循环次数,总错误,材料消耗等。
2. 事件报告(EVENT)
设备的状态发生改变时,设备将以事件的形式 通知主机,例如设备开始作业、完成作业、开始上料、完成上料、开始作业、作业完成等。
Event 详细介绍参考