什么是配方?

什么是配方?

什么是半导体配方(recipe)?

配方是一组描述设备应如何处理其材料的指令。配方内容由设备供应商定义。

配方管理干什么的?

配方管理是对工厂对设备的配方进行管控,防止操作员随便修改。配方的存储和管控都在工厂端,当设备做好配方后,就会存储在工厂服务器。

为什么要管控?

几乎所有的半导体工厂都需要这个特性来确保配方的完整性并支持可追溯性。主机将设备上已批准的配方上传并保存下来供以后使用,以确保配方不会被更改。

配置在SECS/GEM是怎么处理?

① 获取配方

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② 删除配方

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③ 配方上传

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④ 配方下载

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